超高(gao)真(zhen)空系(xi)統(tong)(tong)的(de)(de)(de)全(quan)壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)設備中(zhong)(zhong)除(chu)了最早采用的(de)(de)(de)B-A型超高(gao)真(zhen)空規(gui)(gui)外，又(you)發展了許多極高(gao)真(zhen)空規(gui)(gui)，如冷陰極磁(ci)控(kong)規(gui)(gui)、抑(yi)制規(gui)(gui)和(he)(he)彎注規(gui)(gui)等。但對(dui)許多研(yan)究工(gong)作來(lai)說，僅靠(kao)全(quan)壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)數(shu)據是(shi)(shi)不(bu)(bu)夠的(de)(de)(de)。例如真(zhen)空系(xi)統(tong)(tong)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)吸附、凝結、脫附過(guo)程等，它涉(she)及到容器表面(mian)和(he)(he)系(xi)統(tong)(tong)內部物質(zhi)和(he)(he)殘(can)余氣(qi)體(ti)(ti)分(fen)(fen)(fen)子的(de)(de)(de)相互作用。這(zhe)時(shi)獲得(de)系(xi)統(tong)(tong)內氣(qi)體(ti)(ti)組分(fen)(fen)(fen)和(he)(he)分(fen)(fen)(fen)壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)的(de)(de)(de)數(shu)據比全(quan)壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)數(shu)據更能說明問題。真(zhen)空條(tiao)件下的(de)(de)(de)氣(qi)體(ti)(ti)分(fen)(fen)(fen)析和(he)(he)分(fen)(fen)(fen)壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)測(ce)量通常(chang)是(shi)(shi)由動態質(zhi)譜計完成的(de)(de)(de)。被輸(shu)送介(jie)質(zhi)中(zhong)(zhong)，若含有固體(ti)(ti)顆粒(li)，泵(beng)入口(kou)要加過(guo)濾網：如含有鐵磁(ci)質(zhi)微粒(li)，需加磁(ci)性過(guo)濾器。水(shui)環真(zhen)空泵(beng)在使用中(zhong)(zhong)環境溫度應小于40℃，電機(ji)溫升不(bu)(bu)得(de)超過(guo)75℃。磁(ci)力(li)(li)(li)泵(beng)正常(chang)運行1000小時(shi)后，應拆(chai)檢軸(zhou)承和(he)(he)端(duan)面(mian)動環的(de)(de)(de)磨損情況，并更換不(bu)(bu)宜(yi)再(zai)用的(de)(de)(de)易損件對(dui)于輸(shu)送液為易沉(chen)淀結晶的(de)(de)(de)介(jie)質(zhi)，使用后應及時(shi)清洗，排凈泵(beng)內積液。真(zhen)空泵(beng)必須經(jing)常(chang)保(bao)持清潔，真(zhen)空泵(beng)上不(bu)(bu)得(de)放置(zhi)其他(ta)物件，不(bu)(bu)得(de)堵塞真(zhen)空泵(beng)四(si)周通道(dao)，以利維(wei)修和(he)(he)操(cao)作;經(jing)常(chang)注意(yi)三角皮帶(dai)的(de)(de)(de)松緊(jin)，加以調(diao)整;經(jing)常(chang)注意(yi)各管道(dao)接頭處是(shi)(shi)否(fou)漏氣(qi)，以及箱體(ti)(ti)內預(yu)真(zhen)空有否(fou)下降，否(fou)則要及時(shi)維(wei)修;經(jing)常(chang)注意(yi)冷卻水(shui)是(shi)(shi)否(fou)暢通;每次(ci)開車要斷續啟動4-6次(ci)，每次(ci)2s以內，以克(ke)服(fu)啟動時(shi)較大轉矩。